10月8日清晨,干州芯途科技的光刻车间里,恒温系统的嗡鸣声显得格外刺耳。往常该是28nm量产线全速运转、14nm测试台数据跳动的时刻,此刻却只有28nm量产线的磁控管外壳敞着,上周因原料断供停机时留下的工具,整齐摆放在操作台上,像一排沉默的见证者。江瑶站在主控屏前,指尖划过屏幕上“14nm测试暂停”的红色字样,指甲在玻璃上留下淡淡的白痕——这已经是测试中断的第七天,而她手里攥着的,是上个月林宇支援的最后一袋99。99%高纯镝的空包装,那批料本是给14nm测试专用的,只用了三次就见了底。
车间角落里,小李正蹲在地上擦拭28nm量产线的硅片托盘,托盘上还残留着上次量产时的光刻胶痕迹,淡蓝色的薄膜干成了脆片,一擦就碎。老工程师张工则对着14nm测试台的示波器发呆,他手里攥着一张泛黄的参数表,那是半个月前14nm光刻胶测试接近成功时的数据——当时用的就是林宇9月15日送来的99。99%高纯镝,曲线平稳得像湖面,可那批特供料断了后,14nm测试连基础的参数校准都做不了。
“江工,仓库里的镝材还剩最后2公斤,纯度只有99。85%,连28nm量产线的最低标准(99。95%)都够不上。”采购部经理王磊匆匆走进来,手里的库存报表被他捏得皱巴巴的,“我联系了南国稀土、厦钔钨业,都说环保核查没结束,28nm量产用的常规镝材断供了;之前林总说帮我们协调大国稀土的14nm测试专用镝(99。99%),也因为内蒙古那边的提纯车间检修,得延后供货,最快也要20天后才能到。”
江瑶的后背抵着冰冷的28nm光刻机机身,凉意透过白大褂渗进来。她闭上眼,脑海里闪过两张清单:一张是麒麟全球14nm光刻胶的样品订单(10月31日前交付,逾期赔千万违约金),另一张是28nm量产线的排产表——这条线是芯途的“生命线”,每月给国内手机厂商供50万片芯片,要是因原料断供停机,光违约金就够拖垮公司。更让她揪心的是,昨天麒麟全球供应链总监发来的消息:美国已对麒麟全球实施高端芯片禁运,Mate20Pro生产线停了一半,全靠芯途的28nm芯片撑库存,而14nm光刻胶更是他们突破禁运的关键,“两条线,一条都不能断”。
“再想想办法,王经理,哪怕是小厂,只要能提供99。95%的量产级镝材,先保28nm线不停;要是有99。99%的测试级料,不管价格多少,我们都要。”江瑶睁开眼,声音带着一丝不易察觉的沙哑。她知道这话像是在为难王磊——2018年的稀土市场,99。95%以上的高纯镝比黄金还紧俏,环保核查加上缅甸边境封关,合法渠道的货几乎断了档,剩下的要么是掺钍的走私“坏料”(上次林宇就提醒过,用在芯片里会导致电路漏电),要么是纯度不够的残次品。
就在这时,一段模糊的记忆突然撞进脑海——去年冬天,周曼来芯途指导28nm镝材适配,她穿着和江瑶同款的白大褂,手里拿着一支铅笔,在参数表上圈出“镝材纯度99。95%时,磁控管功率需稳定在1200W±5W”,还特意补充:“瑶瑶,要是遇到低纯度料,别急着放弃,用‘分步退火’能救——先600℃除油,再800℃除杂,最后900℃致密化,虽然损耗大,但能把99。8%的料提到99。92%,应急够了。”当时江瑶还笑着说“曼姐你经验真足”,周曼却愣了一下,眼神有些复杂:“都是徐老师教的,咱们得把技术用在实处。”
可现在,林宇上次通话时隐约提过的“周曼可能接触过走私料参数”又浮上来,江瑶的心头像压了块石头——要是周曼早就知道AMP在用掺钍料搞破坏,为什么当时没提醒?她教的“分步退火”是真心帮衬,还是另有所图?这些疑问像乱线似的缠在心里,让她连呼吸都沉了几分。
“江工?江工?”王磊的声音把她拉回现实,“我再去联系几家江西的小矿场,听说有几家偷偷开工了,就是纯度没保证,还得您这边检测把关。”
“辛苦你了,”江瑶点点头,“检测这边我盯着,只要料能到,哪怕半夜也要测。”
王磊刚走,车间门口传来脚步声,行政部的小姑娘探头进来:“江工,麒麟全球的代表到了,在会议室等你,说是来协商订单的事。”
江瑶心里一沉,她知道“协商”背后的含义——麒麟全球既要28nm芯片的稳定供应,更急着要14nm光刻胶的样品。她整理了一下白大褂的衣领,深吸一口气,朝着会议室走去。推开会议室门,她愣住了——坐在桌对面的男人穿着浅灰色西装,领带打得一丝不苟,竟是她的大学师兄陈默。
陈默是麒麟全球供应链的核心骨干,当年在清华大学材料系,他比江瑶高两届,还带过她的课程设计。后来陈默去了麒麟全球,江瑶则投身芯片材料研发,两人虽有联系,却很少在工作上碰面。此刻陈默的脸上没有往日的笑容,眼底满是疲惫,他面前的咖啡已经凉了,杯壁上凝着水珠。
“江瑶,好久不见。”陈默站起身,伸出手,语气里带着无奈,“这次来,不是来催单的,是想跟你说实话。”
江瑶在他对面坐下,指尖无意识地摩挲着桌角:“师兄,麒麟全球的情况我知道——28nm芯片我们想保,但量产镝材断供;14nm测试差最后一步,可99。99%的料也没了。上个月林宇紧急调给我们的那批特供料,已经撑过了14nm的初期测试,可后续断得太突然了。”
“比你想象的更糟。”陈默打断她,从公文包里掏出一份报表,“Mate20Pro的28nm芯片库存只能撑到11月上旬,要是你们的量产线再停一周,我们的组装厂就要停工;至于14nm光刻胶,要是月底还拿不到样品,我们只能放弃自研,转向台&电——可台&电受美国制约,给我们的14nm产能只有每月10万片,价格还比你们高30%。”他顿了顿,目光落在江瑶脸上,“江瑶,不是我们想放弃合作,是两条线都拖不起。林总那边我也问过,他说大国稀土的检修至少要两周,等14nm测试料到了再赶样品,根本来不及;28nm量产料更是没消息。”
江瑶看着报表上“28nm芯片库存告急”“14nm样品逾期风险”的红色标注,心脏像被什么东西揪了一下。她又想起周曼——去年14nm项目启动时,周曼作为大国稀土的技术代表来对接,还带了最新的镝材杂质图谱,说“14nm对钍杂质的容忍度只有0。001%,一定要把好检测关”,当时她还把周曼给的图谱贴在实验室墙上,现在想来,周曼是不是早就知道AMP会在钍杂质上动手脚?
“师兄,再给我15天,就15天。”江瑶的声音带着恳求,“林总说大国稀土的检修可能提前结束,28nm量产料说不定能先调一批来;而且他联系的中科院专家明天就到,说不定能帮我们把低纯度镝材提纯,先保28nm线不停,14nm测试也能借这个时间等新料。”
陈默叹了口气,摇摇头:“江瑶,我知道你难,但供应链等不起。昨天总部已经在讨论跟台&电的14nm合作细节了,28nm也在找南方通芯备选。要是10月20号前,你们的28nm线还开不了,14nm测试没进展,这个合作可能就真的黄了。”他站起身,拍了拍江瑶的肩膀,“我知道你在跟时间赛跑,也知道你跟苏然的事……别太逼自己,实在不行,也别硬撑。”
提到苏然,江瑶的眼眶瞬间红了。她低下头,不让陈默看到她的眼泪——苏然走之前,还在帮她调试14nm光刻胶的磁控参数,说“等28nm稳了,14nm就能冲”,现在他不在,她更不能让两条线都垮了。直到会议室的门关上,她才趴在桌上,压抑地哭了起来,桌上的报表边角被眼泪浸得发皱。
哭过之后,江瑶擦干眼泪,站起身朝着车间走去。她心里有了一个念头——拆解仓库里的旧光刻机。芯途仓库里堆着3台淘汰的193nm光刻机,是前几年从国外二手市场买回来的,虽然设备老旧,但磁控管里残留的镝材纯度能到99。9%左右,要是能提纯到99。95%,刚好够28nm量产线用;至于14nm测试,只能等林宇的新料,先保量产线不停,才有余力谈突破。
“张工,小李,跟我去仓库,拆旧光刻机!”江瑶的声音在车间里回荡,带着一股破釜沉舟的决心。
老张工愣了一下,随即明白过来,眉头却皱了起来:“江工,我懂你的意思——28nm量产线不能停,可旧设备里的镝材氧化好几年了,要提纯到99。95%难度大,而且量肯定少,撑不了几天。万一提纯失败,连这点‘救命料’都没了。”
“不管够不够,都要试试。”江瑶抓起工具箱,语气里带着不容置疑的坚定,“14nm测试缺99。99%的特供料,现在急也没用;但
28nm量产线要是停了,芯途就真的没退路了。拆旧镝材提纯,先保生产线转起来,至少不能让麒麟全球觉得我们连基本的供应能力都没了,也不能辜负林总上个月调给我们特供料的情分。”
仓库里弥漫着灰尘的味道,3台旧光刻机像庞然大物一样立在角落,机身蒙着厚厚的灰,机身铭牌上的“2015年产”字样已经模糊。江瑶和张工、小李戴上手套,拿起扳手开始拆解——旧设备的螺丝早就锈死了,小李用喷灯烤了半天才拧动第一颗,扳手“嘎吱嘎吱”的响声,在空旷的仓库里格外刺耳。小李的手被锋利的金属边角划破了,他随便撕了块胶带缠上,继续干活;张工的腰不好,蹲了一会儿就直不起来,只能靠在设备上歇30秒,再接着拆。
拆到第二台光刻机的磁控管时,江瑶的指尖突然触到一个熟悉的标记——磁控管内壁贴着一张小小的标签,上面是周曼的笔迹:“2017。12检修,镝材纯度99。92%,建议2018。6前更换,避免氧化影响参数。”她心里一震,想起2017年底周曼来芯途帮忙检修旧设备,当时她说“这些旧磁控管里的镝材还能用,别浪费了”,还手把手教江瑶怎么判断镝材氧化程度,“看颜色——银白色是好料,发暗就是氧化了,发灰就不能用了”。